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光刻用紫外线灯管

超高压UV灯（工业用特殊照明・光刻用紫外线灯管）

【365nm／405nm／436nm】 在与设备商之共同开发体制的背景之下、迎合设备制造厂各种需求、开发出获得好评且值得信赖的曝光制程用UV灯。 100w～35kw等级、产品系列齐全，适合提高产能、并改善良品率等的光源提案。 此外、顾客新设备的开发方面，我们亦配合开发适用的灯具。

主要用途

• ・半导体回路形成用光源
• ・液晶回路形成用光源
• ・彩色滤光片回路形成用光源
• ・电浆显示器回路形成用光源
• ・印刷电路板回路形成用光源
• ・MEMS回路形成用光源
• ・检查用光源
• ・其他新的曝光用途等

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工业用特殊照明(灯管/LD/LED等)